采用鈀鎳薄膜的聲表面波氫氣傳感器研究
作者：梅盛超; 王文; 雷剛 中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所; 北京100190; 中國(guó)科學(xué)院大學(xué); 北京100049; 航天低溫推進(jìn)劑技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100028
摘要：該文對(duì)采用鈀鎳薄膜作為敏感膜的聲表面波氫氣傳感器開展研究,以實(shí)現(xiàn)快速的氫氣檢測(cè)。傳感器采用雙通道差分振蕩器結(jié)構(gòu),其中在傳感通道器件聲表面波傳播路徑上以磁控濺射法沉積鈀鎳薄膜,通過鈀鎳薄膜對(duì)氫氣的快速和可逆物理吸附引起聲表面波傳播速度的變化,進(jìn)而以差分振蕩器頻率信號(hào)來表征待測(cè)氫氣濃度。通過傳感實(shí)驗(yàn)以確定獲得快速響應(yīng)的鈀鎳的優(yōu)化厚度。結(jié)果表明,在鈀鎳厚為40nm時(shí),傳感器獲得的響應(yīng)幅度與響應(yīng)速度分別達(dá)5kHz和5s。
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壓電與聲光雜志
壓電與聲光雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：聲表面波技術(shù)、聲光與光纖技術(shù)、壓電及其他功能器件、單晶、薄膜及其他功能材料、實(shí)驗(yàn)技術(shù)與測(cè)試方法。等。于1979年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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