一種仿側線神經丘的MEMS矢量水聽器設計
作者：張小勇; 沈倪鑫; 尚珍珍; 紀松祥; 張國軍 中北大學動態測試省部共建實驗室; 太原030051; 太原學院計算機工程系; 太原030032
摘要：基于仿生學原理,設計了一種仿側線神經丘的微電子機械系統(MEMS)矢量水聽器。該水聽器采用環形纖毛模擬魚類側線神經丘中的纖毛束與膠質頂,通過4個十字梁與集成在梁上的壓敏電阻將聲信號轉換為電阻變化量,由電阻構成Wheatstone電橋將電阻變化量轉換為電壓信號。使用ANSYS軟件對水聽器結構進行了仿真,得到環形纖毛的結構參數。制作了水聽器樣機,通過比較校準法進行測試。測試結果表明該水聽器帶寬為20~1 000 Hz,靈敏度達到了-179.81 dB@1 kHz,在帶寬內較單個十字梁與纖毛結構的纖毛式矢量水聽器平均提高了15.55 dB,測試結果與仿真結論基本一致。
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微納電子技術雜志
微納電子技術雜志， 月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：技術論壇、材料與結構、MEMS與傳感器、加工、測量與設備等。于1964年經新聞總署批準的正規刊物。
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