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摘要：本文基于單晶圓擦洗的原理,分析了單晶圓擦洗常見的兩種方案的缺點,提出了適合單晶圓擦洗的優化方案。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社。
清洗世界雜志， 月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：實用技術、試驗研究、專論與綜述、環保節能、管理與維護等。于1985年經新聞總署批準的正規刊物。
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