馬赫曾德雙成像的鏡面材料內部缺陷檢測系統
作者：鐘詩民; 孫方圓; 陳維杰; 吳雙樂; 王永紅 合肥工業大學儀器科學與光電工程學院; 合肥230009
摘要：針對傳統剪切散斑干涉技術只能測量粗糙表面,無法直接測量鏡面物體的缺陷,提出了一種改進的剪切成像裝置,利用被測物表面反射由激光經毛玻璃組擴束后產生的散斑來實現鏡面物體缺陷檢測;同時采用雙成像的馬赫曾德干涉系統,實現剪切量與載波頻率的獨立調整,擴大有效測量區域.對8k鏡面板采用頂針加載的方式,對預置缺陷的鏡面表面材料采用熱加載的方式,進行缺陷檢測.實驗結果表明:該方法檢測出的缺陷分布與加載方式、預置缺陷的分布基本保持一致,可實現對鏡面材料內部缺陷的快速動態檢測.
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