八氟環丁烷的純化技術研究進展
作者：繆光武; 張金柯; 白占旗; 何雙材; 胡欣; 曾群; 杜肖賓; 劉武燦; 張波 浙江省化工研究院有限公司; 浙江杭州310023
摘要：隨著電子工業的迅速發展,八氟環丁烷作為常用的半導體工藝蝕刻或清洗氣體,其需求量日益增加,對其純度要求也越來越苛刻。總結了現有應用最為廣泛的四種八氟環丁烷純化技術:精餾技術、吸附技術、化學轉化法、膜分離技術,分析四種純化技術各自優缺點。在實際生產中,根據八氟環丁烷中所含雜質的種類,選擇合適純化技術聯用來獲得高純八氟環丁烷。此外,應不斷開發新型、高效電子氣體純化技術,促進我國電子氣體行業的發展。
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低溫與特氣雜志
低溫與特氣雜志， 雙月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：綜述評論、研究與開發、低溫與制冷、工藝與設備、特氣制備、分析與測試、安全技術等。于1983年經新聞總署批準的正規刊物。
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