高純電子級SiF4中氟硅醚阻聚劑的設(shè)計(jì)及其性能
作者：馬建修; 靖宇; 楊振建; 湯萍; 王新鵬 綠菱電子材料(天津)有限公司; 天津301714
摘要：在高純電子級四氟化硅生產(chǎn)與純化中,很容易產(chǎn)生氟硅醚雜質(zhì),甚至可以與四氟化硅進(jìn)一步聚合生成氟硅醚高聚物。該高聚物可從膠體迅速聚集成顆粒,很容易堵塞管道和吸附劑,極易發(fā)生安全事故。根據(jù)硅醚鍵氟化斷裂的化學(xué)性質(zhì),設(shè)計(jì)了一系列基于金屬氟化物組成的氟硅醚阻聚劑。結(jié)果顯示,AgF2阻聚劑具有阻聚熱力學(xué)效率高、動力學(xué)速率快的特點(diǎn),可以使氟硅醚雜質(zhì)有效控制濃度在20×10^-6以下。四氟化硅重復(fù)50次(每次用量10kg)通過AgF2阻聚劑仍然具有優(yōu)秀的阻聚性能,故該阻聚劑具有良好的長期穩(wěn)定性。
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低溫與特氣雜志
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